|
|
|
±Û¾´ÀÌ : ÇØÁؼÛÈ¿
³¯Â¥ : 25-06-02
Á¶È¸ : 30
|
|
|
| Á¦¸ñ : ½½·Ô¸±°ÔÀÓ §Ì 75.rhx667.top §Ì ½½·Ô¸Ó½Å ±â°è ±¸ÀÔ |
|
| |
http://38.rqc912.top (3) | http://0.rtb667.top (3) |
¡¼73.rhx667.top¡½
ÀϺ»ºüÂô²¿ §Ì 19.rhx667.top §Ì ¾ß¸¶Åä ºüĪÄÚ
¹Ù´Ù½Å2 ´Ù¿î·Îµå §Ì 83.rhx667.top §Ì Æ÷Ä¿°ÔÀÓ»çÀÌÆ®
Ȳ±Ý¼º°ÔÀÓÁ¤º¸ §Ì 88.rhx667.top §Ì ¼Ò¾× ½½·Ô Ãßõ
ÆÄ¶ó´ÙÀ̽º¿À¼Ç §Ì 76.rhx667.top §Ì ¸±°ÔÀÓ È²±Ý¼º
ÃֽŹٴٰÔÀÓ ¾ß¸¶Åä¿Â¶óÀÎÁÖ¼Ò ¹Ù´ÙÀ̾߱âÄÚµå ¾ß¸¶Åä°ÔÀÓ Çϱâ Ȳ±Ý¼º¿¬Å¸ ¹Ù´ÙÀ̾߱â½ÃÁð5 ¹Ù´ÙÀ̾߱â²Ç¸Ó´Ï ÆÄĪÄÚ ¾îÇà ¹Ù´ÙÀ̾߱âÇϴ°÷ ÇÁ¶ó±×¸¶Æ½ ¹«·á°ÔÀÓ ¿À¼ÇÆÄ¶ó ´ÙÀ̽º´Ù¿î·Îµå Ȳ±Ý¼º°ÔÀÓ°ø·«¹æ¹ý ¸±°ÔÀÓ Á¾·ù ¾Ë¶óµò¿Â¶óÀθ±°ÔÀÓ ´ÙºóÄ¡°ÔÀÓ´Ù¿î·Îµå ¹«·á ¸Þ°¡ ½½·Ô ¸Ó½Å ¿Â¶óÀÎ ½½·Ô °ø·« ¹é°æ°ÔÀÓ·£µå ¹Ù´ÙÀ̾߱â°í·¡ÃâÇö ¸±°ÔÀÓ¸ÔÆ¢°ËÁõ ¹æ¹ý ¹«·áȲ±Ý¼º Ȳ±Ý¼º ´Ù¿î·Îµå ½ÅõÁö°ÔÀÓÇϴ¹æ¹ý ½½·Ô¸Ó½Å Á¾·ù ½½·Ô¸Ó½Å°ÔÀÓ ¸±°ÔÀÓ»çÀÌ´Ù °ÔÀÓ¸ô ¹Ù´ÙÀ̾߱â Á¶ÀÛ ¹Ù´ÙÀ̾߱âÆÄĪÄÚ °ÔÀÓȲ±Ý¼º Ȳ±Ý¼º´Ù¿î·Îµå ÇÁ¶ó±×¸¶Æ½ ¹«·áüÇè pc°ÔÀÓ ¹Ù´ÙÀ̾߱â¸ÔÆ¢»çÀÌÆ® ½½·Ô Àß ÅÍÁö´Â ·Î¶Ç´ÞÆØÀÌ È²±Ý¼º°ÔÀÓ¹æ¹ý ¹Ù´ÙÀ̾߱â±âÇÁÆ®Àüȯ Ä«Áö³ë ½½·Ô °ÔÀÓ Ãßõ ¿ìÁÖÀüÇÔ ¾ß¸¶Åä 2202 ¾ß¸¶Åä3µ¿¿µ»ó Ȳ±Ý¼ºpc¹öÀü ¹Ù´ÙÀ̾߱â°ÔÀÓ¹æ¹ý ½½·Ô¸Ó½Å ¸±°ÔÀÓ ¹«·áÃæÀü°ÔÀÓ ¹«·á ¾ß¸¶Åä °ÔÀÓ ¿Â¶óÀÎȲ±Ý¼ºÁÖ¼Ò »ç¼³¹èÆÃ ¹Ù´ÙÀ̾߱â¹é°æ ¸ð¹Ù¾Ë¹Ù´ÙÀ̾߱â ÀϺ»ºüÂôÄÚ ³îÀÌÅÍ ¸±¹Ú½º ½Åõ±â¸±°ÔÀÓ ÀèÆÌ °¿ø·£µå ½½·Ô¸Ó½Å ±ÔÄ¢ ¹Ù´ÙÀ̾߱â½ÃÁð5 ¹Ù´Ù ½½·Ô ¸ÔÆ¢ â¿ø°æ·û°æ·ûÀå ¸±°ÔÀÓ È®·ü ¸±°ÔÀÓÀ̶õ 88¿À¶ô½Ç¸±°ÔÀÓ È²±Ý¼º¿ë°¡¸® ¿Â¶óÀΰÔÀÓ ¾ß¸¶Åä2°ÔÀÓ´Ù¿î·Îµå ÆÄĪÄÚÇϴ¹ý °ñµå¸ù°ÔÀÓ ¾ß¸¶Åä2¸±°ÔÀÓ ¾Ë¶óµò¸±°ÔÀÓ ½½·Ô³ª¶ó¹«·á ¾ß¸¶Åä°ÔÀÓÀåÁÖ¼Ò ¿À¡¾î ¸±°ÔÀÓ ÀÎÅÍ³Ý ¹Ù´ÙÀ̾߱⠹ٴÙÀ̾߱⠹«·á ²Ç¸Ó´Ï»çÀÌÆ® ¾Ë¶óµò ½½·Ô¸Ó½Å ¾Ë°í¸®Áò ¿À¼ÇÆÄ¶ó´ÙÀ̽º»çÀÌÆ® ¹Ù´Ù½Å2°ÔÀÓ ¹«·áÃæÀü¾ß¸¶Åä ¹Ù´ÙÀ̾߱âpc°ÔÀÓ ¹Ù´ÙÀ̾߱âÆÄÀÏ ¾ß¸¶Åä2¸±°ÔÀÓ ÇØÀû°ÔÀÓ ¿ìÁÖÀüÇÔ ¾ß¸¶Åä 2202 ºüÂôÄÚ ÇÏ´Â ¹æ¹ý ¹Ù´ÙÀ̾߱⠰ÔÀÓ Å°Áö³ë¸±°ÔÀÓ ¿Â¶óÀθ±°ÔÀÓ¿¹½Ã ¹Ù´ÙÀ̾߱â È®·ü pc¾ß¸¶Åä°ÔÀÓ ¿Â¶óÀÎ¹é°æ ¸ð¹ÙÀϸ±°ÔÀÓ»çÀÌÆ® ¹«·áÃæÀü¹Ù´ÙÀ̾߱⠾˶óµòüÇè¸Ó´Ï ´ÙºóÄ¡´Ù¿î·Îµå ½½·Ô ¸Ó½Å Á¦ÀÛ ¸ð¹ÙÀϾ߸¶Åä ½½·Ô ¹«·á »çÀÌÆ® ¿À¼ÇÆÄ¶ó ´ÙÀ̽º´Ù¿î ¹Ù´Ù½Å2 ´Ù¿î·Îµå ¾ç±Íºñ ¸±°ÔÀÓ °¿ø·£µå ½½·Ô¸Ó½Å È®·ü °ø°³ ÆÎ¸ÖƼ¸±°ÔÀÓ È²±Ý¼º°ÔÀÓÀå ü¸®¸¶½ºÅÍ ¹é°æ¿¹½Ã ¾ß¸¶Åä2´Ù¿î·Îµå ¸ÔÆ¢ ÇÇÇØ º¹±¸ ¸±°ÔÀÓ ²Ç¸Ó´Ï ½Ç½Ã°£¹ÙµÏÀÌ ¹Ù´ÙÀÌ¾ß±â °í·¡ ÃâÇö ¸±°ÔÀÓ°« ¿Â¶óÀθ±°ÔÀÓ»çÀÌÆ® ¹«·á½½·Ô»çÀÌÆ® ÀÎÅͳݾ߸¶ÅäÁÖ¼Ò ÇÁ¶ó±×¸¶Æ½ ¹«·á½ºÇÉ ¸±°ÔÀÓȾ±Ý¼º ¾ß¸¶Åä»çÀÌÆ® ¹Ù´ÙÀÌ¾ß±â °í·¡ ÃâÇö ¹Ù´ÙÀ̾߱⿹½ÃÁ¾·á ¹Ù´ÙÀÌ¾ß±â ²Ç¸Ó´Ï È¯Àü À©À© ½ÅõÁö´Ù¿î·Îµå ¿¹½Ã ¾ß¸ÏÅä5 ¸±°ÔÀÓ¼Õ¿À°ø ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ 'Çù¾÷'Àº Çʼö Àü·«À¸·Î ºÎ»óÇϰí ÀÖ´Ù. ±â¼ú ³Á¦´Â º¹ÀâÇØÁö°í ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ºñ¿ëÀº ±ÞÁõÇϸé¼, ÇÑ ±â¾÷ÀÌ ¸ðµç °úÁ¦¸¦ °¨´çÇÏ±ä ¾î·Á¿öÁ³´Ù. ¿¬±¸½Ç°ú ¾ç»ê ÇöÀå °£ °£±Øµµ Ä¿Áö¸ç ±Û·Î¹ú °øµ¿ °³¹ßÀÇ Á߿伺ÀÌ Ä¿Á³´Ù. ÀÌ °¡¿îµ¥ º§±â¿¡ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ ¿¬±¸±â°ü ¾ÆÀ̸ß(imec)Àº ´ëÇ¥ Çù·Â Ç÷§ÆûÀ¸·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±¹³» ±â¾÷µéµµ À̰÷°úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¼º°ú¸¦ ³»°í ÀÖ´Ù. ¡Þµ¿Áø½ê¹ÌÄÍ, EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ±¹»êÈ µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº ±ØÀڿܼ±(EUV) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(PR) ±¹»êȸ¦ ÀÌ·é ±¹³» ´ëÇ¥ ÀüÀÚÀç·á ±â¾÷ÀÌ´Ù. PRÀº ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤°øÁ¤¿¡¼ ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °¨±¤Á¦Àε¥, µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀº °ú°Å ºÒȾƸ£°ï(ArF) À̹ÌÀü PR °³¹ßÀ» À§ÇØ 2005³â ÇÞ»ì·Ð½Å¿ëȸº¹ ºÎÅÍ ¾ÆÀ̸߰ú Çù·ÂÇß´Ù. ´ç½Ã ±¹³»¿¡´Â R&D¸¦ À§ÇØ ArF À̸ÓÀü ³ë±¤Àåºñ¸¦ ºô·Á »ç¿ëÇÒ °÷ÀÌ ¾ø¾ú±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ȸ»ç´Â 2013³â ±¹³» ÃÖÃÊ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß°í, µÚÀ̾î 2019³â ±ØÀڿܼ±(EUV) PR °³¹ß¿¡ Âø¼öÇß´Ù. EUV ³ë±¤Àåºñ´Â ´ë´ç 2000¾ï¿øÀ» ¿ôµ¹Áö¸¸ ¾ÆÀ̸߿¡¼´Â °øÀ¯ÀÇ ´ë»óÀÌ´Ù. ¼ö¹é°ÇÀÇ »ùÇà Æò°¡¸¦ °ÅÃÄ 2021³â ¾ç»ê¿¡ 7õ¸¸¿ø ´ëÃâ ¼º°øÇß´Ù. Á¶¼ºÇÑ µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ ¿¬±¸¿øÀº ¡°EUV ÀåºñÀÇ È°¿ë»Ó ¾Æ´Ï¶ó Àü ¼¼°è ¿¬±¸Áø°úÀÇ ±³·ù¸¦ ÅëÇØ ±â¼ú °³¹ßÀÇ ¹æÇ⼺À» Àâ¾Æ°¥ ¼ö ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°¾ÕÀ¸·Îµµ ¾ÆÀ̸߰ú Çù·ÂÇØ EUV PR Á¦Ç°±ºÀ» ´Ã·Á°¥ °èȹ¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. º§±â¿¡ ·Ú¹ø¿¡¼ ¸¸³ Á¶¼ºÇÑ µ¿Áø½ê¹Ì °æÂû¾ß±Ù¼ö´ç ÄÍ ¿¬±¸¿ø. Á¶ ¿¬±¸¿øÀº ¾ÆÀ̸ß(imec)°úÀÇ Çù¾÷À» ÅëÇØ 2000¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ °í°¡ÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ»»Ó ¾Æ´Ï¶ó 100¿©°³±¹ ¿¬±¸ÀÚµé°ú Çù¾÷À» ÅëÇØ ±â¼ú °³¹ß ¹æÇâ ¼³Á¤¿¡ ÀÖ¾î ±àÁ¤Àû ¿µÇâÀÌ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. (»çÁø=¹ÚÁøÇü ±âÀÚ) ¡ÞÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º AFM ¼¼°è 1À§ µµ¾à ½ÃƼÀºÇà ´ãº¸´ëÃâÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ¾ÆÀ̸߰ú Çù·ÂÀ» ½ÃÀÛÇÑ Áö 7³â ¸¸¿¡ ¿øÀÚÇö¹Ì°æ(AFM) Àåºñ ½ÃÀå 1À§¿¡ ¿À¸¥ ±â¾÷ÀÌ´Ù. ¾ÆÀ̸ßÀº 2013³â °í¼º´É AFM Àåºñ °³¹ß Çù·Â»ç¸¦ ã¾Ò°í, ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ¹Ì±¹ ´ëÇü¾÷üÀÎ ºê·çÄ¿¿ÍÀÇ 2³â°£ÀÇ °æÀï ³¡¿¡ 2015³â °ø½Ä ÆÄÆ®³Ê·Î ³«Á¡µÆ´Ù. ÀÌÈÄ 'NX-3DM', 'NX-¿þÀÌÆÛ' µî µÎ °¡Áö °³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ® ´çÀÏ´ëÃâ¹®ÀÇ ¸¦ ÁøÇàÇß´Ù. ¾ÆÀ̸߿¡ ÆÄ°ßµÈ »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº, TSMC µî ÁÖ¿ä °í°´»ç ¿¬±¸¿øµéÀº ½Ç»ç¿ë ±â¹ÝÀÇ ¿ä±¸»çÇ×°ú Çǵå¹éÀ¸·Î Àåºñ ¿Ï¼ºµµ¸¦ ³ôÀ̴µ¥ ±â¿©Çß´Ù. ÀÌ´Â ºü¸¥ ½ÃÀÏ ³» ½ÇÁ¦ Àåºñ ±¸¸Å·Î À̾îÁö´Â ¿øµ¿·ÂÀÌ µÆ´Ù. ½ÇÁ¦ ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ ¿¬°£ ¸ÅÃâÀº 2015³â 200¾ï¿ø¿¡¼ 2024³â 1751¾ï¿øÀ¸·Î ¿¬Æò±Õ 27.3% ¼ºÀåÇßÀ¸¸ç, ¿ÃÇØ 2000¾ï¿ø µ¹ÆÄ¸¦ ¸ñÇ¥·Î Çϰí ÀÖ´Ù. Á¶¼º¿ì ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º Àü¹«´Â ¡°ÇöÀç »õ·Î¿î Â÷¼¼´ë Àåºñ °øµ¿°³¹ßÀ» ¾ÆÀ̸߰ú ³íÀÇÇϰí ÀÖ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù. Çѱ¹ ±â¾÷ ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º°¡ °³¹ßÇÑ °Ë»ç¡¤°èÃøÀåºñ°¡ ASM, ASML°ú °°Àº ¼¼°èÀû ȸ»çÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶Àåºñ¿Í ÇÔ²² ¾ÆÀ̸ß(imec) Ŭ¸°·ë¿¡ ¼³Ä¡µÅ ÀÖ¾ú´Ù. (»çÁø=¹ÚÁøÇü ±âÀÚ) ¡ÞHPSP, °í¾Ð ¾î´Ò¸µ ¼¼°è ÃÖÃÊ »ó¿ëÈ HPSPµµ °í¾Ð ¼ö¼Ò ¾î´Ò¸µ(HPA) Àåºñ¸¦ ¾ÆÀ̸߰úÀÇ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ¿Ï¼ºÇß´Ù. ¾î´Ò¸µ °øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°úÁ¤¿¡¼ ¿þÀÌÆÛ¿¡ »ý±ä ¹Ì¼¼ÇÑ »óó¸¦ Ä¡À¯ÇØ Àü±âÀû Ư¼ºÀ» º¹¿øÇÏ´Â °øÁ¤ÀÌ´Ù. ±âÁ¸¿¡µµ Æ÷¹Ö°¡½º ¾î´Ò¸µ(FGA), ±Þ¼Ó ¿Ã³¸®(RTA¡¤RTP) µîÀÇ ¾î´Ò¸µ °øÁ¤ÀÌ ÀÖ¾úÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÌ ´õ¿í ¹Ì¼¼ÈµÇ¸é¼ ±â¼úÀû ÇѰ谡 ¹ß»ýÇß´Ù. °øÁ¤ ¿Âµµ°¡ ³ô°í ¼ö¼Ò ³óµµ¿Í ¾Ð·ÂÀÌ ³·¾Æ ȸ·Î ¼Õ»ó À§ÇèÀÌ ´õ ÄÇ´ø °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ¿¡ ¾ÆÀ̸ߵµ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¼º´É °³¼±À» À§ÇÑ ¹æ¹ýÀ» ¸ð»öÇØ¿Ô°í HPSP¿Í 2015³âºÎÅÍ Àú¿Â¡¤°í¾Ð¡¤°í³óµµ ¼ö¼Ò ȯ°æÀÇ HPA Àåºñ °³¹ß Çù¾÷À» ½ÃÀÛÇß´Ù. HPSP´Â ªÀº ±â°£ ´Ù¾çÇÑ Çǵå¹éÀ» ¹ÞÀ¸¸é¼ ¾ç»ê¶óÀο¡ Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ±â¼úÀ» È®º¸Çß´Ù. 2018³âºÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀå °ø·«¿¡ ³ª¼¹°í TSMC, »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî¿¡ ¼º°øÀûÀ¸·Î °ø±ÞÇß´Ù. À۳⠸»¿¡´Â Â÷¼¼´ë ¼ÒÀÚ¿ë °í¾Ð »êÈ °øÁ¤(HPO)ÀÌ °¡´ÉÇÑ Àåºñ¸¦ ¾ÆÀ̸߿¡ Ãß°¡ °ø±ÞÇØ Æò°¡¸¦ ÁøÇà Áß¿¡ ÀÖ´Ù. Â÷¼¼´ë 3D ¸Þ¸ð¸® ¹× 3D ·ÎÁ÷ ¼ÒÀÚ¿¡ ÃÖÀûÈµÈ Àú¿Â »êÈ °øÁ¤ °³¹ßÀ» À§ÇÑ Àåºñ´Ù. HPSP °ü°èÀÚ´Â ¡°¾ÆÀ̸ßÀº ¼¼°è À¯¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ½Å·ÚÇÏ´Â ¼ÒÀÚ Æ¯¼º µ¥ÀÌÅ͸¦ Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â°üÀ¸·Î, Àåºñ °³¹ß Àü·« ¼ö¸³°ú °í°´»ç ¿µ¾÷¿¡ ÀÖ¾î Å« µµ¿òÀÌ µÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. HPSP °í¾Ð ¾î´Ò¸µ Àåºñ º§±â¿¡(·Ú¹ø)= ¹ÚÁøÇü ±âÀÚ jin@etnews.com
|
|
|
|
|
|
|
|
|